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2024-10-22 21:15:52 |  |
产品中心
设备制造
1、蒸发台
用途：
应用于半导体、LED制造中正面镀金属及背面金属化。适用于科研院所、大学、半导体行业、LED行业。
技术参数：
产品优点：
1、对行星架的加工精度降低：
MARK50方式若行星架边缘角度、圆度要求很高，稍有变形就产生振动，对薄片容易产生裂纹，行星架的寿命短。
2、对轨道的要求降低：
MARK50对轨道有角度、平整度的、水平度要求很高，加工精度不到位，行星架容易产生振动
3、对驱动三角架的要求降低：
MARK50对驱动三角架与轨道之间的安装配合要求很高：
三角架转动的轴线与轨道中心的轴线要一直，不然会产生振动，行星架之间打架，转动过程中行星架会掉落
4、对驱动杆的要求：
MARK50对驱动杆的角度，长度，之间的垂直度有很高的要求，不然行星架振动很大
性能比较：