荷兰阿斯麦公司制造新一代光刻机

转载自 北京日报 2022-05-21

据路透社20日报道，荷兰阿斯麦公司(ASML)正在制造新款极紫外线(EUV)光刻机，每台售价约4亿美元。

路透社援引阿斯麦公司高级管理人员的话报道，新一代高数值孔径EUV光刻机的原型机将在2023年上半年制造完成。这些高管说，顶级芯片供应商准备最早2025年开始使用上述产品的量产机。

报道援引美国超大枧模集成技术研究所专家丹·哈奇森的话说，高数值孔径EUV光刻机可为一些芯片企业提供巨大优势，“有点像谁得到最好的枪”。

阿斯麦公司在EUV光刻机方面占据垄断地位。据哈奇森介绍，中国台湾积体电路制造股份有限公司（台积电）本世纪头十年使用阿斯麦公司的EUV光刻机，甩开竞争对手。美国英特尔公司首席执行官帕特·格尔辛格为此发誓，在高数值孔径EUV光刻机方面不会再犯同样错误。

EUV光刻机是缩小芯片制程的关键技术。鉴于同等空间内晶体管数量越多，芯片性能就越强，因此芯片制程越小越好。

阿斯麦公司首席执行官彼得·温宁克说，过去十年间，阿斯麦公司已售出大约140部EUV光刻机，每部售价约2亿美元。卜晓明（新华社专特稿）